1.高效性 臭氧是一种高效灭菌剂。国际卫生组织对消毒灭菌剂的功效，曾进行过归纳比较，对大肠杆菌的杀灭效果为：最好的是臭氧（O3），次之是次氯酸（HClO）＞二氧化氯（ClO2）＞银离子（Ag＋）＞次氯酸根（ClO－）＞高铁酸盐（FeO42－）＞氯氨（NCl3）。臭氧灭菌速度较氯气快600～3000倍。
高洁性 臭氧是利用空气中的氧气产生的，消毒氧化过程中，多余的氧原子（O）在30 min后又结合成为氧分子（O2），不存在任何有毒残留物，故称“环保消毒剂”。
    2.广谱性 臭氧对细菌、病毒等微生物内部结构有极强的氧化破坏性，可达到杀灭细菌繁殖体、芽孢、甲乙型肝炎病毒、真菌和原虫胞囊等各种细菌，以及破坏肉毒杆菌的毒素及立克次氏体等。臭氧还具有很强的除霉、腥、臭等有机异味的功能，对中药材及其他原辅材料的防霉、防虫蛀等有明显的作用。同时，除铂、金、铱、氟外，臭氧几乎可与周期表中所有的元素反应，并可将过渡金属元素氧化到较高或最高氧化态，形成更难溶的氧化物。对于氟以外的非金属元素，臭氧也可将其从各种低氧化态氧化，直至出现最高氧化态。因此，臭氧可用于消除酚、氰、亚硫酸盐、亚硝酸盐等多种有机或无机污染物、有毒物。
    3.经济性 通过臭氧消毒灭菌在诸多制药行业GMP中的应用，以及医疗卫生单位的使用及运行比较，臭氧消毒方法与其他方法相比具有很大的经济效益和社会效益。
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