(1)体模阶段：方法是做CT或拍X线片，或用石膏绷带脱出患者病灶断面身体的外轮廓。目的是确定射线经过处的体轮廓，肿瘤、重要器官和组织的准确位置、大小和密度等。

　　(2)治疗计划设计阶段：利用先进的计算机软、硬件，输入、计算、比较、优化得到最理想的治疗用数据。如：最合适的射线种类(X线或电子线)、能量大小、机架角度i照射野大小、每个射野分别照多少量、是否需要加楔形板、挡块和大小等。

　　(3)计划的证实和确认阶段：这要用模拟定位机来完成。这种机器除射线能量低、可起透视、照相作用外，其它尺寸条件可与加速器、钴一60治疗机等完全相同，所以可在透视条件下证实治疗计划是否最优。若不理想还需修改计划，直到证实确认满意为止。

　　(4)执行阶段：即正式实施治疗阶段。这时的主要根据是治疗单，而治疗单上的数据是前3个阶段的努力最后确定下来的最满意的治疗条件。在放疗期间，还需定期检查患者的治疗效果、放射反应等，必要时要及时调整治疗方案，直至较好地完成治疗。至此，才算最后完成了治疗计划。