20世纪30年代，医务工作者发现了微波的生物学效应。

　　1947年美国医学将其接纳为因子，20世纪60年代前后各国对这种新因子进行了多方面研究。

　　20世纪70年代随着将微波能引进医学领域，在化学检测、消毒、灭菌、解冻，处理和保存标本及药物等方面相继应用。

　　80年代前，微波只用于外辐射治疗骨关节和肌肉的炎症疾病，以及部分肿瘤的加温。

　　经过多年的发展，临床上微波热疗已经被广泛应用于肿瘤科、妇科、泌尿科、肛肠科、耳鼻喉科、外科、皮肤科等各个领域。