干雾过氧化氢消毒器通过向需要灭菌的区域扩散干雾来完成喷雾过程。当液滴的平均直径小于10微米时,喷出雾可以被称作是“干”的;小的液滴会从墙面上弹开并且不会破裂附着使表面潮湿。而所有的条件的建立都是为了满足杀孢子剂以气化的形式有效地移动到对应的区域,这种形式的特性决定了它们可以移动到平时难以达到的区域。