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射频能量使用受控的电磁辐射来为不同过程供电,利用固态射频取代当前的磁控管,除了快速的频率、相位和功率捷变外,这种原理射频能量可实现低电压驱动、半导体式可靠性和小的外形尺寸,并辅之以一定精度,均匀的分配能量,以及对不断变化的负载条件适配。
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