选择合适的消毒机：确保所选用的臭氧消毒机符合国家标准，并通过相关部门的认证。

阅读说明书：在正式使用前，仔细阅读臭氧消毒机的说明书，了解其性能、使用方法、注意事项及故障处理等。

环境准备：将待消毒的区域通风良好，确保没有人员在消毒区域内，以免吸入臭氧造成不适。

设备放置：将臭氧发生器放置在待消毒房间外的稳定位置，确保臭氧输送管正确引入待消毒房间。

连接设备：确保臭氧发生器与输送管正确连接，并根据产品要求安装好其他相关配件。

启动设备：接通电源，根据说明书操作设备，启动臭氧发生器。等待设备进入工作状态。

设定参数：根据实际需要，进入设置页面，调整工作参数，如消毒时间、浓度等。

开始消毒：启动消毒程序，确保消毒区域内的所有人员已经撤离。

监控过程：在消毒过程中，监控设备运行状态，确保臭氧浓度达标，达到预期的消毒效果。

结束消毒：消毒完成后，关闭设备，并确保臭氧残留被充分排除后，才允许人员进入消毒区域。

故障处理：如在消毒过程中设备出现故障，立即关闭设备，并根据说明书进行故障排查或联系售后服务。

维护保养：定期对臭氧消毒机进行维护保养，检查各部件是否正常，清洁设备，更换损耗件等。