氧气供应：首先，医用臭氧发生器需要纯净的氧气作为原料。这通常通过氧气瓶或氧气发生器来提供。

氧气压缩：氧气需要被压缩到一定的高压，以便在后续的电晕放电过程中更有效地转化为臭氧。

电晕放电：在高压电场的作用下，压缩的氧气通过电晕放电区域。在这个区域，氧气分子（O2）受到高能电子的撞击，导致分子分裂并重新组合，形成臭氧（O3）。这个过程可以用以下化学反应表示：

3O2→2O3

电晕放电通常在特殊的电极结构中进行，如平行板电极或介质阻挡放电（DBD）电极。

臭氧收集：生成的臭氧随后被收集并输送到需要的地方，如治疗室或特定的治疗设备中。

控制系统：整个过程由控制系统监控和调节，确保臭氧的产量和浓度符合医疗用途的要求。控制系统通常包括传感器、微处理器和用户界面，用于设定和调整臭氧的产生参数。

安全措施：医用臭氧发生器还配备有多种安全措施，如压力释放阀、过流保护和紧急停止按钮，以确保设备的安全运行。