微波源：加速器通常使用微波源，如磁控管或速调管，产生高频电磁波。这些电磁波的频率通常在几百兆赫兹到几千兆赫兹之间。

微波加速腔：微波源产生的电磁波被引导至一个特殊的金属结构——微波加速腔。加速腔内部的电磁场被设计成特定的模式，以确保电子在通过时能够被加速。

电子枪：电子直线加速器中的电子枪负责产生电子束。电子枪通常由一个阴极和一个阳极组成，阴极被加热以释放电子，阳极则施加正电压以吸引电子。

电子加速：当电子从电子枪释放出来后，它们被引导进入微波加速腔。在加速腔中，电子受到微波电磁场的电场力作用，被加速至接近光速的高速度。

束流传输：加速后的电子束通过一系列磁铁和电极被引导和聚焦，以确保它们沿着直线路径前进，并保持束流的稳定性和均匀性。

靶材料：高能电子束被引导至一个重金属靶（如钨或铅）上。当电子撞击靶材料时，它们失去能量并转化为x射线。

X射线产生：电子在撞击靶材料的过程中，由于突然减速，根据电磁辐射理论，会产生高能光子，即X射线。这些X射线随后被用来治疗患者。

剂量控制：通过调整电子束的能量、强度和照射时间，可以精确控制X射线的剂量，以适应不同的治疗需求。

治疗头：在治疗头部分，X射线被塑形和调制，以确保它们能够精确地照射到肿瘤区域，同时保护周围的健康组织。

监控系统：整个过程中，加速器配备有多个监控系统，包括束流位置、能量、剂量等参数的实时监控，以确保治疗的精确性和安全性。