加速管：加速管是医用电子直线加速器的核心部分，电子在加速管内通过微波电场加速。加速管主要有两种基本结构——盘荷波导加速管和边耦合加速管。盘荷波导加速管应用于行波医用电子直线加速器，而边耦合加速管应用于驻波医用电子直线加速器。

微波功率源：微波功率源有两种，磁控管和速调管。行波医用电子直线加速器和低能医用电子直线加速器使用磁控管作为微波功率源，而中高能驻波医用电子直线加速器使用速调管作为功率源。

微波传输系统：主要包括隔离器、波导窗、波导、取样波导、输入输出耦合器、三端或四端环流器、终端吸收负载、频率自动稳频等组成。

电子枪：为医用电子直线加速器提供被加速的电子。电子枪的阴极采用钨或钍钨制成，有结热式、间接式和轰击式三种加热方式。

束流系统：控制和调节加速后的电子束或光子束，以确保精确的照射。

真空系统：包括真空泵（钛泵），用于维持加速管内的高真空状态，确保电子束能够无阻碍地加速。

恒温水冷却系统：用于冷却加速管和其他关键部件，以保持稳定的工作温度。

电源及控制系统：提供加速器各部分所需的电源，并进行精确控制。

照射头：包括均整系统、射野形成系统等，用于调整和塑形放射束，以适应不同的治疗需求。

治疗床：用于患者定位和固定，以确保治疗的精确性。

聚焦线圈和偏转系统：聚焦线圈用于控制束流的聚焦，而偏转系统（偏转室、偏转磁铁）用于控制束流的方向。

剂量监测系统：用于监测和确保照射剂量的准确性。