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HMDS烘箱

发布日期：2024-09-24 | 浏览次数：

基本信息

省份/直辖市	上海	地区
采购单位	上海工程技术大学
所含内容	医用招标

序号设备名称数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

HMDS烘箱

1(台)

***

真萍科技

MD-***

1.1机外壳采用优质冷轧钢钢板烤漆处理制造，内胆为医用专用不锈钢***L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。1.2箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。1.3微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。1.4智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。1.5HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用***级光刻间净化环境。1.6HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易.1.7低液报警装置，采用国际领先的液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）1.8温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）1.9整个箱体及HMDS气体管路采用SUS***医用专用不锈钢材料，整体使用无缝焊接避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）1.***设备自带温度记录及压力记录（能及时找到异常）二、整机尺寸、真空腔体尺寸：2.1内胆尺寸：***X***X***mm)外尺寸***********mm容积：***L2.2载物托架：2块2.3室温+***℃-***℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：±0.5℃2.4真空泵：干泵（选配）爱德华***i或者鲍斯干泵。真空度：***pa，2.5加热方式：四面加热。2.6可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片;8寸晶圆片等。2.7开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在***分钟-***分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）；

按行业标准提供服务，质保2年

HMDS烘箱关键参数设置.xlsxHMDS销售情况***全年-市占率.xlsxHMDS烘箱泵要求.docx

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